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使用了4CH通道的法蘭盤，節(jié)省了真空槽的空間。 ? 一次性安裝光纖，大幅度削減了工時數(shù)（4CH通道法蘭盤）。 ? 空氣側(cè)光纖兩端可自由切割，能輕松抽回。 ? 選用側(cè)光纖兩端可自由切割，能輕松抽回。 ? 先用螺釘緊固型的1CH單通道法蘭盤。 ? 在高溫環(huán)境下使用時，可選用耐高溫真空光纖。
通過結(jié)束帶裝置和導(dǎo)管附著可以簡單地安裝。 ? 在易談的價格下裝置,可為設(shè)備改善時的成本降低作出貢獻(xiàn)。 ? 厚10mm的薄形管。由于可以密封安裝，所以可以檢測出Z小4mm的位差。 ? 即使在可然性氣體中也可使用。
采用了耐藥品、耐油性都很優(yōu)秀的特氟龍(PFA) ? 能夠民晶圓片洗凈槽的硫酸等高溫液體的檢測相對應(yīng)。(-40 ~ +200℃) ? 實(shí)現(xiàn)了0.5mm的高重復(fù)精度。 ? 采用了防止液體的結(jié)構(gòu)。
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